一般SEMI® 設備安全準則：
- S1- 設備安全標籤的安全準則
- S2- 半導體製造設備的環保、健康及安全準則
- S6- 半導體製造設備的排氣通風EHS準則
- S8- 半導體製造設備人因工程安全準則
- S13- 提供給半導體製造設備使用者的環保、健康及安全準則文件
- S14- 火災風險評估及半導體製造設備移轉的安全準則
- S16- 設計半導體製造設備在處理使用壽命結束設備時減少對環境影
響的指南
- S17- 無人駕駛車輛 (UTV) 系統安全準則
- S19-半導體製造設備安裝、維護及維修人員訓練安全準則
- S21- 工作人員防護安全準則
- S22- 半導體製造設備電路設計的安全準則
- S23- 半導體製造設備使用的能量、用具及材料保存指南
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